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壓電 · 線性位移臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))
  • 產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-21
  • 簡(jiǎn)要描述：? 超安靜運(yùn)動(dòng)， 20 kHz驅(qū)動(dòng)頻率
    ? 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計(jì)
    ? 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O
  • 產(chǎn)品介紹

壓電 · 線性位移臺(tái)— LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)解決?案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺(tái)

外形緊湊，動(dòng)?性能不折扣的壓電線性臺(tái)；同時(shí)保證優(yōu)質(zhì)的價(jià)格空間。

壓電 · 線性位移臺(tái)— LS65x.Lab.O / .R (閉環(huán))產(chǎn)品特?

• 超安靜運(yùn)動(dòng)，  20 kHz驅(qū)動(dòng)頻率

• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計(jì)

• 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O)

• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選

• 經(jīng)濟(jì)型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm

• 最?步伐優(yōu)于 10 nm

• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件

• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)

• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空  ( .UHV)選件

2D ·尺?圖

LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     絕對(duì)?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1        底?尺?*?度

65 × 65 mm × 12 mm

2        主體材料

不銹鋼

純鈦

不銹鋼

不銹鋼

3        線纜 & 接頭

標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線，

PEEK-2mm插針

運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得)

4        運(yùn)動(dòng)?程

30 mm

5        最?速度

~ 20 mm/s

6        最?步伐

~ 10 nm

7        驅(qū)動(dòng)頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運(yùn)動(dòng))

8        最??平推?

2 N

9        保持?

5 N


0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全?程俯仰/偏擺


運(yùn)動(dòng)參數(shù)-空間推薦安裝形式 II.  (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測(cè)得)

11

最?垂直負(fù)載

2 N

12

保持?

5 N

傳感精度

13       位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

14       位置傳感量程

30 mm

15       位置傳感分辨率

- 電阻型傳感( .R )，   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O )，   10 nm，   1nm可選(默認(rèn) 10nm)

 

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